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一般洁净度在100级到1000级,温湿度控制严格,需要很高的洁净工艺; 由于集成电路工艺生产技术的特殊性,它对生产环境,如洁净度、温度、湿度都有严格的要求,这直接关系到晶圆产品的质量和寿命,必须严格控制在要求范围之 内。在工程设计中,暖通空调专业担负着保证生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。

洁净室系统采用新风集中处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干式冷盘管(DDC)的方式,其空气处理过程为:循环风经设置在一层的干式冷却盘管冷却后,进入上部送风静压箱,与处理后的新风混合,经FFU加压、过滤后送入生产区。

过滤系统如何选择 
  百级洁净室不同于千级以下洁净室,百级为层流洁净室,一般采用MAU+DDC+FFU形式;即新风机组+干盘管+风机过滤单元形式;
维护结构如何选择
1.百级洁净室墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,阴角全部选用圆弧连接;百级一般采用二次隔墙及二次吊顶形式做回风技术夹道;
2.地面:百级一般采用架空地板敷设作为回风夹道;方便气流从顶部垂直吹下;’
净化参数
换气次数:1000级≥60次;100级:过滤器满布率不低于80%。
压差:主车间对相邻房间≥10Pa平均风速:00级0.3-0.5m/s;
温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。 
湿度45-65%;噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度:不低于350LX;

一般操作流程

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